Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 1
PDF-Книга
ISBN:
978-5-00101-814-8, 978-5-00101-813-1
Год издания:
2012 год.
Скачивание в:
PDF
Краткое содержание
Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах.
В нашей библиотеке Вы имеете возможность скачать книгу Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 1 М. А. Королев или читать онлайн в формате pdf, а также можете купить бумажную книгу в интернет магазине партнеров.
