Физические основы вакуумной техники

Рассмотрены физические основы работы наиболее распространенных типов вакуумных насосов, манометрических датчиков давления и масс-спектрометров, а также принципы построения откачных систем высокого и сверхвысокого вакуума. Для получения практических навыков работы с оборудованием предлагаются соответствующие варианты практических занятий. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению 200100 «Электроника и наноэлектроника». Оно может быть рекомендовано также для специалистов, занимающихся эксплуатацией вакуумного технологического оборудования.

В нашей библиотеке Вы имеете возможность скачать книгу Физические основы вакуумной техники Александр Василевский или читать онлайн в формате pdf, а также можете купить бумажную книгу в интернет магазине партнеров.