Расчеты параметров взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом
Краткое содержание
В данном пособии приводятся расчеты взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом. Обсуждаются закономерности упругих и неупругих потерь энергии ионом при взаимодействии с атомами и электронами твердо› го тела материалов электронной техники. Рассматриваются типовые источ› ники ионов, применяемые в технологии электронной техники. Анализируют› ся области проявления таких эффектов взаимодействия, как распыление, дефектообразование и внедрение ионов.
В нашей библиотеке Вы имеете возможность скачать книгу Расчеты параметров взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом Геннадий Кузнецов или читать онлайн в формате pdf, а также можете купить бумажную книгу в интернет магазине партнеров.
