Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Часть 2

Учебное пособие содержит подробное описание физических основ и экспериментальной техники методов электронной спектроскопии, микроскопии и методов исследования электрофизических параметров наноэлектронных материалов и структур. Рассматриваются вопросы применения этих методов в современной науке, технике и технологии. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Нанотехнологии и микросистемная техника» для дисциплин «Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и систем», «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов», «Методы диагностики и анализа микро- и наносистем» и студентов, обучающихся по направлению «Микроэлектроника и наноэлектроника» для дисциплины «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных структур».

В нашей библиотеке Вы имеете возможность скачать книгу Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Часть 2 Александр Величко или читать онлайн в формате pdf, а также можете купить бумажную книгу в интернет магазине партнеров.