Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии

В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получение диэлектрических пленок.

В нашей библиотеке Вы имеете возможность скачать книгу Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии Игорь Житяев или читать онлайн в формате epub, fb2, pdf, txt, а также можете купить бумажную книгу в интернет магазине партнеров.