Технологические процессы в микро- и наноэлектронике
Краткое содержание
Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоёв с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях.
Для студентов, обучающихся по специальности «Электроника, радиотехника и системы связи», а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.
В нашей библиотеке Вы имеете возможность скачать книгу Технологические процессы в микро- и наноэлектронике Ю. А. Родионов или читать онлайн в формате pdf, а также можете купить бумажную книгу в интернет магазине партнеров.
